硬件技术：成像的灵魂

持了类似CPU的微小化特性，属于超精密机械加工。MEMS系统包括微电路和微机械，它们按照功能要求集成在微小的芯片上，尺寸通常是毫米或微米级。MEMS系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。而且由于MEMS采用了半导体制造技术，因此在性能、良品率和成本控制等
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